天游线路检测中心 PLD法制造的叠层磁体薄膜的精细结构分析
使用透射电子显微镜观察Pr-Fe-B/Fe-Co磁性材料 JEOL 科学测量设备服务部服务计划推进总部研发推进部
透射电子显微镜 (TEM) 是一种极其有用的分析设备，可用于从微观到原子水平的微观结构分析。由于材料的各种性能与其微观结构密切相关，因此分析该结构并为材料开发提供反馈被认为极其重要。在这里，Nd2铁14与B相比，Pr具有相对较高的磁晶各向异性常数2铁14B 作为硬质相，具有高饱和磁化强度的 Fe-Co 作为软质相。
PLD（脉冲激光沉积）方法示意图及叠层磁体薄膜的磁性能
as-depo样品的TEM观察结果
可以看出，在as-depo状态下，Pr-Fe-B层（20 nm）和Fe-Co层（10 nm）以约30 nm的堆叠周期堆叠在Ta基板上，没有相互扩散。此外，EDS图分析表明Fe-Co层中Fe和Co的分布不同。
热处理后样品TEM观察结果
已证实，通过进行热处理，层状结构消失并转变为晶粒尺寸约为10至30nm的微细分散结构。软相（Fe-Co）和硬相（Pr2铁14B)的晶粒尺寸细化至交换耦合长度（约10 nm），因此最大能积（BH）max为100 kJ/m，而J-H环路没有变成两级3的优异的磁特性。获得。
[由长崎大学工程研究生院 Masaki Nakano 教授提供]
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