为了提高尖端器件制造工厂的良率，天游ty8检测中心是我们用于审查SEM的半内透镜的优化，在1 kV的加速电压下实现3 nm的超高分辨率
功能
天游ty8检测中心是我公司的半入式镜头，针对审查SEM进行了优化，在1 kV的加速电压下实现了3 nm的超高分辨率，旨在随着半导体器件的小型化，提高使用各种材料的最先进的器件制造工厂的产量。此外，为了防止材料损坏，我们采用了即使在300V以下的低加速电压下也能获得高质量SEM图像的电子光学系统。
此外，为了获得高质量的SEM图像，天游ty8检测中心实施了应用广泛的充电对策、高速自动对焦功能和环境措施（磁场、振动、声音）。它配备了各种功能，例如自动识别高质量缺陷和异物并获取SEM图像的自动缺陷审查（ADR）、基于SEM图像的自动缺陷分类（ADC）以及自动分析识别的异物和缺陷的自动化选项。
规格/选项
| 分辨率 | 3nm（加速电压：1kV时）、5nm（300V时） |
|---|---|
| 加速电压 | 100V～200V |
| 观察倍率 | ×100～×500,000 |
| 舞台 | X-Y：300mm，T：45°，R：360° |
| 样本大小 | 300mm（也可提供200mm两用机） |
| ADR（死死） | 750dph（JEOL 标准样品） |
