以高稳定性和准确性实现亚纳米区域的信息
JEM-3100F 是一款高分辨率、高精度分析电子显微镜，可以以亚纳米分辨率对材料进行结构和成分分析。采用最新的光电技术设计，可以获得分辨率为01 nm的清晰图像。此外，通过追求机械和电气稳定性，我们能够提高探针直径为014 nm的微电子束的稳定性。随着性能的这些改进，JEM-3100F 已成为原子和分子水平材料分析的完美工具。
功能
场发射电子枪
为了提高微区分析中的信噪比，需要提高样品上的探头电流。通过增加光源的亮度可以最有效地实现这一点。硼化硼6我们采用了场发射电子枪，其亮度比热电子枪高出大约两个数量级。光源的高亮度提供了具有良好相干性的电子束，再加上较小的能量宽度，提高了高分辨率图像的质量。
聚光镜※1
为了减小探头直径，照射透镜的像差系数也必须很小。物镜采用聚光镜，将聚焦镜和物镜的功能合二为一，可以降低像差系数。顶级物镜，300kV 下球差系数为 06mm，色差系数为 13mm※2下，我们彻底追求抗污染冷翅片和EDS探测器的最佳配置，除了超高分辨率图像观察之外，我们还可以使用小至04 nmφ的探针在极小的区域内进行元素分析和电子衍射，而不会污染样品。
适用于超高分辨率和高分辨率配置
用于超高分辨率配置
新的控制侧入口测角仪
新采用的伺服电机控制比以往更加改善了样品台的操作环境。此外，它标配了压电驱动机构，可以通过单个开关在电机驱动和压电驱动之间切换，从而显着改善高倍率下的视场移动。诸如无漂移控制装置之类的附件也可以轻松配置。此外，通过用密封盖（蛤壳）覆盖测角仪，可以提高抗噪音和压力波动的能力。
快速光束选择器系统
分析电子显微镜的照射透镜条件可广泛变化，分为四种照射条件：TEM图像观察、EDS分析、微区电子衍射和会聚电子衍射。快速光束选择器系统让您只需轻轻一触即可选择适合您目的的最佳照射条件，让您在观察电子显微镜图像时轻松切换到微探针，轻松进行高精度分析。
规格/选项
| 版本 | 超高分辨率配置 (UHR) | 高分辨率配置（人力资源） | 高对比度配置（HC） |
|---|---|---|---|
| 分辨率 | |||
| TEM 粒子图像 | 017纳米 | 019纳米 | 026 纳米 |
| TEM 晶格图像 | 01纳米 | 01纳米 | 014纳米 |
| STEM 明场图像※1 | 014纳米 | 014纳米 | - |
| STEM 暗场图像※2 | 014纳米 | 014纳米 | - |
| 加速电压 | 300kV、200kV、100kV※3 | ||
| 最小可变宽度 | 100V | ||
| 电子枪 | |||
| 发射方式 | ZrO/W(100)肖特基法 | ||
| 亮度 | ≧7×108安/厘米2･sr | ||
| 真空度 | ～3×10-8帕 | ||
| 探头电流 | 探针直径 1 nm 时为 05 nA 或更高 | ||
| 供电稳定性 | |||
| 加速电压 | 2×10-6／分钟 | ||
| 物镜电流 | 1×10-6／分钟 | ||
| 物镜 | |||
| 焦距 | 27 毫米 | 30毫米 | 39 毫米 |
| 球差系数 | 06 毫米 | 11毫米 | 32 毫米 |
| 色差系数 | 15毫米 | 18 毫米 | 30毫米 |
| 最小焦点可变量 | 10纳米 | 14纳米 | 41纳米 |
| 光斑大小（α 选择器） | |||
| TEM 模式 | 2～5 nmφ(3) | 7～30 nmφ(-) | |
| EDS 模式 | 04～16 nmφ(5) | 4～20 nmφ(-) | |
| NBD 模式 | 04～16 nmφ(5) | - | |
| CBD 模式 | 04～16 nmφ(8) | - | |
| 会聚电子衍射 | |||
| 会聚角(2α) | 15~20毫拉德或更多 | - | |
| 接受角（半角） | 10 ° | - | |
| 放大倍数 | |||
| MAG | ×4,000～1,500,000 | ×3,000～1,000,000 | |
| 低磁力 | ×60～15,000 | ||
| SA MAG | ×10,000～500,000 | ×6,000～300,000 | |
| 衍射相机长度 | |||
| 选区衍射 | 12～200cm | 20～300cm | |
| 高色散衍射 | 4～80 m | 4～80 m | |
| 样板房※4 | |||
| 样本移动量(XY/Z) | X,Y：2毫米Z：02毫米 | X,Y：2毫米Z：04毫米 | X,Y：2毫米Z：04毫米 |
| 示例倾斜角度 (X/Y) | ±25°／±25° | ±35°／±30° | ±38°／±30° |
| EDS※5 | |||
| 立体角 | 013 sr | 009 sr | |
| 外卖角度 | 25° | 20° | |
STEM图像观察需要扫描图像观察装置（可选）。
STEM暗场图像观察需要暗场图像观察装置（可选）。
200 kV 和 100 kV 下的图像观察需要电子枪电极短路开关（可选）。
这是使用 2 轴倾斜支架时的值。
需要 EDS 系统（可选）。显示性能基于 30 mm2 探测器。 50毫米2有关探测器的规格，请单独联系我们。
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