配备全数字控制器的高端多模式扫描探针显微镜
功能
操作简便、高性能、多功能
22 位高度分辨率和高达 2048×2048 像素的图像
高度分辨率为全范围 22 位。可以测量的图像像素数高达 2048 x 2048 像素。
HOPG STM 图像
这是从2048 x 2048像素测量的HOPG STM图像中提取的512 x 512像素图像，可以确认其具有原子分辨率。
[下]20×20nm2（2048×2048像素）
[上] 1/16面积5×5nm2的放大图（512×512像素）
无损高速接近
高速接近功能可实现短距离且无损坏的接近操作，而无需担心样品与探头之间的距离。
高速进场示意图
使用高速接近（50μm/s），直到从远处检测到充当远程力的微弱重力，然后进行精密接近。
无损扫描控制
观察薄膜样品的横截面时，尖端会在边缘掉落，所以直到现在我还担心尖端损坏。 Z限制器功能通过设置高度跟踪范围来保护探头免受与样品表面的碰撞。
使用 Z 限制器的测量示例
多层滤光片5×4μm2断裂面的AFM图像
通过 Z 限制器，尖端在规定的高度范围内遵循样品表面形状。因此，即使样品表面如左图所示明显凹陷，也可以避免与探头碰撞，从而可以进行安全扫描。
对于观察用横截面抛光机制成的横截面非常有效。
提示自动跟踪
在加热和冷却观测期间，通过自动校正由于温度变化而导致的高度方向的漂移，可以进行长时间稳定的观测。
快速轻松的定位
矩形扫描
除了扫描长宽比为1:1的区域外，还可以测量任何比例的矩形区域。
半导体表面的 AFM 图像
20×4μm2（1024×200像素）
使用跳跃扫描进行快速扫描
通过跳过垂直扫描线，您可以执行高速扫描，同时减少扫描时间。通过以低倍率进行高速扫描，您可以快速找到所需的视野。
暴露在电子束下的抗蚀剂残渣的AFM观察示例
通过高速扫描大范围（约1分钟/帧）并观察中心位置的不均匀图像和相位图像来快速找到视野的示例。
[顶部] 跳跃扫描 20×20μm2（256×32 像素）
[左下]凹凸图像32×32μm2（512×512像素）
[右下]相位图像32×32μm2（512×512像素）
优秀的真空环境控制
兼容高真空（10-6Pa）
整个SPM检测系统内置于真空中，即使在疏散过程中也能稳定运行
所有激光对准都可以从外部真空进行
气锁机构允许在不破坏真空的情况下更换样品
规格/选项
| 分辨率 | 面内01nm垂直001nmAFM 原子分辨率（接触模式下的云母原子图像）STM原子分辨率（HOPG原子图像） |
|---|---|
| 测量模式（AFM） | AFM NC 模式（频率检测） 凹凸图像、频率图像、耗散图像（选项：SKPM・MFM・EFM）AC 模式（幅度检测） 凹/凸图像/相位图像/振幅图像（选项：粘弹性图像/SKPM/MFM/EFM）接触模式 凹/凸图像/力图像/接触当前图像/FFM（选项：粘弹性图像/LM-FFM/PFM/SCFM）STM不均匀图像/当前图像（选项：微电流检测）SPS力曲线/摩擦力曲线/I-V・S-V・I-S・SPS 映射 |
| 测量模式（STM） | 凹/凸图像/当前图像I-V・S-V・I-S・SPS 映射(选项：微电流检测) |
| 标准扫描仪扫描范围 | X、Y 0～20μm（分辨率16位×3DAC）相当于21位Z 0～3μm（分辨率22位）使用管式扫描仪（可更换）图像像素数：最大2048×2048矩形扫描/跳行扫描/尖端自动跟踪无损扫描控制安全高速方法 |
| 样本大小 | 50mm×50mm×5mmt（最大）10mm×10mm×3mmt（标准） |
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