这是一款扫描探针显微镜,可在10-8 Pa的超高真空下实现014 nm水平分辨率和001 nm垂直分辨率的高分辨率,以观察真实干净的表面。它是一种高度可扩展的设备,配备了多种外围设备,不仅可以用于简单地观察材料表面凹凸图像,还可以用于观察吸附过程、高低温相变、堆叠结构中的电子密度分布、扫描隧道电子能谱(STS)、原子力显微镜(AFM)等许多应用。
功能
配备多端口天游8线路检测中心处理室,可在超高真空下进行蒸发、气体导入、MIED、RHEED 观察等天游8线路检测中心预处理。
变体列表
JEOL 的 UHV-SPM 系列提供多种产品阵容,包括 STM 专用机器、AFM/STM 两用机器以及天游8线路检测中心处理室形状,如下所示。
| STM专用机 | AFM/STM两用机 |
|---|---|
| 超高真空扫描隧道显微镜JSPM-4500S | 超高真空扫描探针显微镜JSPM-4500A |
| 低温超高真空扫描隧道显微镜JSTM-4500LT |
超高真空扫描隧道显微镜(STM专用机)
JSPM-4500S
超高真空扫描原子力显微镜(AFM/STM两用机)
JSPM-4500A
这是一台JSPM-4500 AFM/STM两用机,配备多端口天游8线路检测中心处理室,可在超高真空下进行各种天游8线路检测中心处理(蒸发、气体引入、MIED等)。通过更换探头即可兼容AFM和STM,可处理多种测量天游8线路检测中心。此外,通过使用导电悬臂,可以同时进行 AFM 和 STM 观察。
天游8线路检测中心处理室的天游8线路检测中心停放台最多可安装三个天游8线路检测中心架。此外,各种附件(例如 LEED)可以连接到天游8线路检测中心处理室,确保作为复合表面分析设备的可扩展性。
低温超高真空扫描隧道显微镜(STM专用机)
JSPM-4500LT
这是一种STM设备,可以在超高真空、极低温度(4K)和高磁场(垂直和水平施加到天游8线路检测中心上的磁场)等极端条件下进行测量。该设计允许在不破坏真空的情况下更换天游8线路检测中心和探头,从而可以在极端条件下顺利观察天游8线路检测中心。由于装置底部采用气流式低温恒温器,因此装置本身相当大,需要将低温恒温器部分埋入地下等安装方法。对于正常天游8线路检测中心冷却 (~30K),JSPM-4500/4610 支持附件。
附件
附件兼容性表
| JSPM-4500 | ||
|---|---|---|
| 天游8线路检测中心处理室 | 观察室样本 | |
| 天游8线路检测中心加热 | 〇 | 〇 |
| 天游8线路检测中心冷却 | ― | 〇 |
| 气相沉积设备 | 〇 | 〇 |
| 气体引入装置 | 〇 | 〇 |
| 裂解装置天游8线路检测中心 | 〇 | ― |
| XPS 设备 | 〇 | ― |
| LEED/AES 设备 | 〇 | ― |
〇:可以安装―:无安装设置 △:限制
天游8线路检测中心加热
通过使用直接向天游8线路检测中心通电的直流加热支架(标准配置)或使用PG(热解石墨)加热器(可选)的间接加热支架,可以对天游8线路检测中心进行热处理并保持高温观察的温度。
天游8线路检测中心冷却
通过使用冷却台,可以在低温下观察天游8线路检测中心。冷却台采用液氦和液氮两层冷却方式,与无漂移台相结合,使天游8线路检测中心冷却稳定,冷却效率高。
STM专用机(JSPM-4500S)和AFM/SPM两用机(JSPM-4500A)的冷却槽安装位置不同。下图为安装了冷却水箱的 JSPM-4500A。在 STM 专用机器中,冷却箱直接安装在腔室上方。
气相沉积设备
用于将外来原子沉积到天游8线路检测中心上的附件。该结构允许从下面对天游8线路检测中心进行气相沉积,并且由于天游8线路检测中心是准直的,因此可以在不污染天游8线路检测中心以外的任何东西的情况下进行气相沉积。它还具有快门功能,因此您可以控制蒸发量。
气体引入装置
这是SPM观察期间观察气体吸附过程和化学反应的有效附件。使用该附件可有效研究吸附的初始过程和吸附气体的分布。
裂解装置天游8线路检测中心
这是一种安装在天游8线路检测中心处理分析室中,在超高真空下将半导体天游8线路检测中心等相对硬而脆的天游8线路检测中心切割在特殊天游8线路检测中心架中的装置。解理后,可以使用SPM观察解理面。
光电子能谱 (XPS) 装置
可安装在JSPM-4500的天游8线路检测中心处理室中,用作光电子能谱仪。该设备采用了我公司的光电子能谱仪JPS-9000系列,该系列产品在市场上获得了很高的评价。 X射线源采用Al/Mg双靶,分析器透镜采用三级柱面透镜和半球分析器。
低能电子衍射(LEED)/俄歇电子能谱(AES)设备
一种低能电子衍射 (LEED) 附件,可以在低能电子衍射 (LEED) 的同时进行俄歇电子能谱 (AES)。
规格/选项
| 分辨率 | ||
|---|---|---|
| STM | 原子力显微镜 | |
| 水平分辨率 | 014nm | 原子分辨率 |
| 垂直分辨率 | 001nm | 原子分辨率 |
| 粗动功能(电机驱动) | ||
| STM专用机 | AFM/STM两用机 | |
| 逼近函数(Z粗动) | 内置自动接近功能 | |
| X、Y粗动(示例动作) | ±2mm | ±1mm |
| 压电扫描元件(piezo element) | ||
| STM专用机 | AFM/STM两用机 | |
| 扫描方式 | 堆叠共享模式扫描方法 | 管扫描法 |
| 扫描尺寸 | XY=02um, Z=06um | XY=10um, Z=27um |
| 扫描旋转 | 内置(-180° 至 180°) | |
| 扫描范围 | ||
| STM专用机 | AFM/STM两用机 | |
| 扫描变量范围 | 0~200nm | 0~10um |
| 缩放功能 | 内置 | |
| 示例 | ||
| STM专用机 | AFM/STM两用机 | |
| 样本大小(高×宽×厚) | 最大10×10×5mm | 最大8×77×2mm |
| 1×7×03mm(加热用) | ||
| 天游8线路检测中心加热机制(标准) | ||
| 加热方式 | 电加热 | |
| 加热温度 | ≦1200℃ | |
| 漂移 | ||
| 阶段方法 | 无漂移阶段方法 | |
| 系统漂移量 | ≤005nm/s | |
| 超高真空室 | ||
| 配置 | 3室配置(3室独立排气系统) | |
| 真空度 | 天游8线路检测中心交换室~10-4帕天游8线路检测中心处理室~10-7帕超高真空图像观察室~10-8帕 | |
| 烘焙方法 | 内置加热器方式 | |
