天游8线路检测中心 [已售完] JSPM-4500A/S 超高真空扫描探针显微镜

这是一款扫描探针显微镜，可在10-8 Pa的超高真空下实现014 nm水平分辨率和001 nm垂直分辨率的高分辨率，以观察真实干净的表面。它是一种高度可扩展的设备，配备了多种外围设备，不仅可以用于简单地观察材料表面凹凸图像，还可以用于观察吸附过程、高低温相变、堆叠结构中的电子密度分布、扫描隧道电子能谱（STS）、原子力显微镜（AFM）等许多应用。

功能

配备多端口天游8线路检测中心处理室，可在超高真空下进行蒸发、气体导入、MIED、RHEED观察等天游8线路检测中心预处理。

变体列表

JEOL 的 UHV-SPM 系列提供多种阵容，包括 STM 专用机器、AFM/STM 两用机器以及天游8线路检测中心处理室的形状，如下所示。

超高真空扫描隧道显微镜（STM专用机）

JSPM-4500S

超高真空扫描原子力显微镜（AFM/STM两用机）

JSPM-4500A

超高真空中での様々な试料处理 (蒸着・ガsu导入・MIEDなど)を可能にする、マルチポート试料处理チャンバを装备したJSPM-4500のAFM/STM両用机です。通过更换探针即可兼容AFM和STM，可以处理广泛的测量天游8线路检测中心。此外，通过使用导电悬臂，可以同时进行 AFM 和 STM 观察。
天游8线路检测中心处理室的天游8线路检测中心停放台最多可安装三个天游8线路检测中心架。此外，各种附件（例如 LEED）可以连接到天游8线路检测中心处理室，确保作为复合表面分析设备的可扩展性。

低温超高真空扫描隧道显微镜（STM专用机）

JSPM-4500LT

这是一款STM设备，可以在超高真空、极低温（4K）和高磁场（垂直和水平施加的磁场）等极端条件下进行测量试料や尖端の交换はすべて真空を破ることなく可能な设计になっており、极限条件下での円滑な试料観察が可能です。装置下部にガsufuroタイプのkuraaiosutottoo用いているため装置自体はかなり大きく、kuraoisuタtto部分は地下に埋め込むなどの设置方法が必要です。对于正常天游8线路检测中心冷却 (~30K)，JSPM-4500/4610 支持附件。

附件

附件兼容性表

〇：可以安装―：无安装设置 △：限制

天游8线路检测中心加热
通过使用直接向天游8线路检测中心通电的直流加热支架（标准配置）或使用PG（热解石墨）加热器（可选）的间接加热支架，可以对天游8线路检测中心进行热处理并保持高温观察的温度。

天游8线路检测中心冷却
冷却suteージを用いることで、试料の低温観察が可能となります。冷却台采用液氦和液氮的两层冷却方法，与无漂移台相结合，可以实现稳定的天游8线路检测中心冷却，冷却效率高。
STM専用机 (JSPM-4500S) とAFM/SPM両用机 (JSPM-4500A)とでは、冷却タンクの取り付け位置が异なります。下の写真は、JSPM-4500Aに冷却タンクを取り付けた状态です。 STM専用机では、チャンバ直上に冷却タンクが取り付きます。

气相沉积设备
用于将外来原子沉积到天游8线路检测中心上的附件。该结构允许从下面对天游8线路检测中心进行气相沉积，并且由于天游8线路检测中心是准直的，因此可以在不污染天游8线路检测中心以外的任何东西的情况下进行气相沉积。它还具有快门功能，因此您可以控制蒸发量。

气体引入装置
这是SPM观察期间观察气体吸附过程和化学反应的有效附件。使用该附件可有效研究吸附的初始过程和吸附气体的分布。

裂解装置天游8线路检测中心
试料处理分析室に取り付け、半导体试料のような比较的硬くてもろい试料を専用の试料ホルダに装着し、真空中で劈开を行う装置です。可以使用SPM观察解理面。

光电子能谱 (XPS) 装置
可安装在JSPM-4500的天游8线路检测中心处理室中，用作光电子能谱装置。该设备采用了我公司的光电子能谱仪JPS-9000系列，该系列产品在市场上获得了很高的评价。 X射线源采用Al/Mg双靶，分析器透镜采用三级柱面透镜和半球分析器。

低能电子衍射（LEED）/俄歇电子能谱（AES）装置
低能电子衍射 (LEED) 附件，可以在低能电子衍射 (LEED) 的同时进行俄歇电子能谱 (AES)。

规格/选项

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