IBC是一种薄膜镀膜系统，采用聚焦离子束方法代替传统镀膜方法（加热蒸发、电弧偶极放电、磁控管或射频溅射等）。这是一款桌面聚焦离子束镀膜机，设计用于在 TEM 和 SEM 样品表面生成非晶薄膜。
功能
真空表无油
采用隔膜泵和涡轮增加真空，因此无油
样品架
摇摆角度0℃～90℃
摇摆速度0℃～36℃/秒
带有用于安装 TEM 样品的支架
带膜厚计
可安装4种目标
碳/铬/铂/铂钯
规格/选项
| 电子枪 | |
|---|---|
| 离子源 | 潘宁离子枪（PIG™）2套 |
| 离子能量 | 1～10kV |
| 天然气 | 氩气 01mL/min/枪(可以使用其他惰性气体) |
| 光束直径 | 大约。 1毫米 |
| 离子电流密度 | 最大10mA/cm2 |
| 真空系统 | |
| 无油泵 | 两级隔膜泵和 60L/s Moculella 拖动泵 |
| 气闸室样板 | 耳语锁 |
| 样品交换时间 | 30S或更短，咔哒声 |
| 真空度 | |
| 基础真空度 | 6.6×10-4帕 |
| 使用的真空度 | 8×10-3帕 |
| 真空计 | 潘宁型/样品室，固态检测器/背压 |
| 液氮阱 | 最长可使用 10 小时（可选） |
| 涂层 | |
| 涂布率 | |
| 碳 (C) | 大约。 005纳米/秒 |
| 铬 (Cr) | 大约。 015nm/s（10kV 时） |
| 样品架 | 水平平台（可加装普通SEM 15mmφ样品台） |
| 示例轮换 | 360°(0~8rpm) |
| 倾斜示例 | 摇摆操作可达 90° 或固定角度 |
| 目标持有者 | 两个目标可以在真空中交替交换等待目标完全免受飞溅污染。 |
| 使用的目标 | 碳 (C)/铬 (Cr)（标准）碳、铬、铂、金钯、铟、钽和钨可供选择。第二个目标组件（可选） |
| 膜厚监测仪 | 晶膜厚度监测仪（可选） |
| 选项 | 用于 TEM 的侧入式 TEM 适配器 |
| 尺寸和实用程序 | |
| 外部尺寸 | 560mm（宽）x 480mm（深）x 430mm（高） |
| 质量 | 38公斤 |
| 电源 | 275W 100AVC（可能为 100-280VAC）50/60Hz |
| 天然气 | 氩气纯度99998%以上，0482MPa (70psi) |
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