纳米表面形貌观察评价FE-SEM
JSM-7700F 旨在以前所未有的高性能观察和分析尖端纳米技术研究中的微观结构。这款超高分辨率场发射扫描电子显微镜配备了物镜像差校正器、TEM 样品台提高了抗震性，完全干燥的排气系统最大限度地减少了样品污染。由于像差校正器的作用，低加速电压下的分辨率在 5 kV 时为 06 nm，适合观察精细结构。使用镜头内背散射电子探测器可以对背散射电子成分进行高分辨率观察。借助用于元素分析的 EDS 和用于薄膜样品观察的 STEM，可用于广泛的应用领域。
规格/选项
| 分辨率 | 06nm (5kV), 10nm (1kV) |
|---|---|
| 加速电压 | 05～30kV |
| 放大倍数 | ×25～2,000,000 |
| 尺寸示例 | 5mm×18mm×8mmH, 5mm×25mm×4mmH |
| 机芯示例 | X方向：25mm Y方向：24mmZ方向：1mm，倾斜：±45（4轴电机驱动） |
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