Park NX10 / NX20 / FX40 研究 AFM 解决方案 |产品信息|日本日本株式会社

功能

AFM 的特点

AFM 是一种高分辨率显微镜，它超过了光的衍射极限，可以通过检测样品表面上的原子与尖端之间作用的力并使用 X、Y、Z 压电扫描仪扫描微观区域来获得三维图像。
不依赖于测量气氛，也不依赖于电导率或绝缘性，因此不需要样品预处理。除了大气之外，还可以在液体、气体以及温度和湿度控制下进行测量。它也是一种应用广泛的分析设备，可以在同一位置同时测量形状信息以及机械性能、电性能和化学信息。

每个设备的概述和特征

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NX10

NX20

FX40

■NX10

摘要

Park NX10 以最高纳米级分辨率提供可靠的数据。从样品设置到成像、测量和分析，每个阶段都可以轻松操作。 NX10 使用户能够提高效率、建立更好的数据并专注于创新研究。

功能

停车 SmartScan™ 自动模式

SmartScan™ 自动模式是通过 Park Systems 的专有技术实现的。该软件是智能的，可以完成成像所需的所有工作，自动确定和确定最佳图像质量和扫描速度。通过实施该软件，您可以节省时间和成本，并期待更好的研究结果。

园区系统串扰消除技术

Park NX10 以最高纳米级分辨率捕获可靠、准确的数据。它具有世界上唯一真正的非接触模式 AFM，可扫描样品表面而不损坏样品，同时延长尖端寿命，以及可实现高精度和分辨率的弯曲引导独立 X/Y 和 Z 扫描仪。

具有低噪声 Z 探测器的精确 AFM 形貌

Z探测器是新型NX系列AFM的核心关键技术。 Z 探测器是 Park Systems 推出的应变计传感器。 Z探测器噪声为02 Å，为业界最高水平。该噪声水平足够低，足以检测地形信号。将新型 NX 系列 AFM 与上一代型号 XE 进行比较，您可以看到差异。 Z 探测器中的高噪声妨碍了对蓝宝石基板等原子台阶的清晰观察。 Park NX AFM 的 Z 探测器发出的高度信号与基于 Z 电压的地形一样低噪声。

■NX20

摘要

NX20 配备自动化 AFM 计量，可提供纳米级的先进测量和分析功能，包括热和纳米机械成像功能、缺陷审查以及电磁故障分析。 AFM 能够测量粗糙度、高度和深度，非常适合处理各种大型样品。

功能

更强大的故障分析解决方案

Park NX20 配备独特的功能，可以揭示设备故障背后的原因并开发更具创意的解决方案。其无与伦比的准确性提供高分辨率数据，让您可以专注于您的工作。真正的非接触式™ 模式扫描还可以减少尖端磨损并更长时间地保持尖端形状，从而节省您的时间和金钱。

初学者也能轻松使用

Park NX20 拥有业界最人性化的设计和自动化界面，为您节省使用和培训操作及其工具的时间和精力。这使您能够专注于解决更大的问题，并为您的客户提供清晰、及时的故障分析。

专为大型晶圆研究而设计

NX20 旨在以最佳方式测量大样本。通过低噪声 AFM 测量可以分析最大 300 mm 晶圆的整个区域。这为自动化测量开辟了全新的可能性，使用户能够更简单、更快速、更高精度地执行任务。

■FX40

摘要

多个样本图像现在在最高分辨率下比以往任何时候都更加清晰。 FX40 配备人工智能 (AI) 和机器人技术来处理自动化流程和机器学习 (ML)，以前所未有的速度和精度推动科学发现和进步。新添加的摄像头传感器自动与激光器和光电探测器、预警系统和故障保险同步，以提取和存储每一步的信息。所有用户都可以沉浸在研究中，无需任何复杂的培训。

功能

自动探头交换

全自动探头更换让您可以轻松、安全地更换旧探头。通过利用包含八个探针和磁性控制机构的盒，可以在无需用户干预的情况下连接探针。

自动激光对准

通过将激光器放置在悬臂上的适当位置并垂直和横向调整和优化 PSPD（光电探测器）的位置来优化激光器。只需单击一下即可移动 X、Y 和 Z 轴，并输出清晰、无失真的图像。

安全装置

探针和 AFM 扫描仪受到软件互锁和硬件开关组合的保护，以防止探针和样品崩溃。算法编程确保 Z 台不会降低到探针与样品表面碰撞的位置，从而保证样品和 AFM 的安全。

规格/选项

舞台		NX10	NX20	FX40
	样品安装	100毫米×100毫米×20毫米	150毫米晶圆 (可选200毫米、300毫米	20毫米×20毫米×20毫米，4件
	XY 平台	20毫米×20毫米	150毫米×150毫米（可选200毫米×200毫米，300毫米×300毫米）	105毫米×40毫米
	Z 阶段	15 毫米	25 毫米	22 毫米
	聚焦阶段	15 毫米	15毫米	25 毫米
扫描仪	XY扫描仪结构	具有闭环控制的单模块弯曲 XY 扫描仪	具有双伺服闭环控制的单模块弯曲 XY 扫描仪	单模块并联运动二维弯曲扫描仪
	练习场	50微米×50微米（选项 100 µm × 100 µm）	100微米×100微米	100微米×100微米
	Z 扫描仪结构	弯曲引导高力扫描仪	弯曲引导高力扫描仪	弯曲引导高力扫描仪
	练习场	15 µm（选项 30 µm）	15 µm（选项 30 µm）	15 µm（选项 30 µm）
电子	ADC	18 通道，24 位	18 通道，24 位	18 通道，24 位
	DAC	17 通道，20 位	17 通道，20 位	24 通道，20 位
	数字 Q 控制	是	是	是
	锁相放大器	4 频道	4 频道	8 频道
	通讯	100 Mbps	100 Mbps	1 Gbps
支持模式	地形	真正的非接触模式™、轻敲模式、接触模式	真正的非接触模式™、轻敲模式、接触模式	真正的非接触模式™、轻敲模式、接触模式
	磁性	磁力显微镜（MFM）、磁场可调磁力显微镜（TM-MFM）	磁力显微镜（MFM）、磁场可调磁力显微镜（TM-MFM）	磁力显微镜（MFM）、磁场可调磁力显微镜（TM-MFM）
	介电/压电特性	压电力显微镜（PFM）、压电光谱、高压电力显微镜	压电力显微镜（PFM）、压电光谱、高压电力显微镜	压电力显微镜（PFM）、压电光谱、高压电力显微镜
	电气特性	导电原子力显微镜 (C-AFM)、I/V 光谱、开尔文探针显微镜 (KPFM)、高压开尔文探针显微镜、扫描电容显微镜 (SCM)、扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)、扫描隧道显微镜 (STM)、扫描隧道光谱 (STS)、光电流映射 (PCM)、静电力显微镜 (EFM)、动态接触静电力显微镜 (DC-EFM)、I/D 光谱	导电原子力显微镜 (C-AFM)、I/V 光谱、开尔文探针显微镜 (KPFM)、高压开尔文探针显微镜、扫描电容显微镜 (SCM)、扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)、扫描隧道显微镜 (STM)、扫描隧道光谱 (STS)、光电流映射 (PCM)、静电力显微镜 (EFM)、动态接触静电力显微镜 (DC-EFM)、I/D 光谱	导电 AFM (C-AFM)、I/V 光谱、开尔文探针显微镜 (KPFM)、高压开尔文探针显微镜、扫描电容显微镜 (SCM)、扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)、扫描隧道显微镜 (STM)、扫描隧道光谱 (STS)、光电流映射 (PCM)、静电力显微镜 (EFM)、动态接触静电力显微镜 (DC-EFM)、I/D 光谱
	机械性能	PinPoint™ 纳米机械模式、力调制显微镜 (FMM)、纳米压痕、纳米光刻、高压纳米光刻、纳米操纵、水平力显微镜 (LFM)、F/D 光谱、力体积成像、弹簧常数校准	PinPoint™ 纳米力学模式、力调制显微镜 (FMM)、纳米压痕、纳米光刻、高压纳米光刻、纳米操纵、水平力显微镜 (LFM)、F/D 光谱、力体积成像、弹簧常数校准	PinPoint™ 纳米机械模式、力调制显微镜 (FMM)、纳米压痕、纳米光刻、高压纳米光刻、纳米操纵、水平力显微镜 (LFM)、F/D 光谱、力体积成像、弹簧常数校准
	化学性质	化学力显微镜（CFM）、电化学显微镜（EC-AFM）	化学力显微镜 (CFM)、电化学显微镜 (EC-AFM)
	热特性	扫描热显微镜 (SThM)	扫描热显微镜 (SThM)	扫描热显微镜 (SThM)