JIB-4000是配备高性能离子镜筒的聚焦离子束加工观察装置（单束FIB装置）。通过将加速的Ga离子束聚焦并照射到样品上，可以对样品表面进行SIM图像观察、铣削以及碳、钨等的沉积。可以制备用于TEM观察的薄膜样品和用于观察样品内部的截面样品。与 SEM 图像相比，SIM 图像清楚地显示了由于晶体取向差异而导致的沟道对比度。非常适合评估多层电镀的横截面和金属结构。
功能
高功率 FIB 柱
JIB-4000 采用高功率 FIB 镜筒，最大离子束电流为 60 nA，可实现高速处理。大电流的高速加工对于大面积加工特别有效，容易制作100μm以上的观察用截面。
图1直径为100μm的焊料凸块的横截面样品制备和横截面观察
亲しみ易いFIB装置
JIB-4000 将高功率 FIB 色谱柱与易于使用的功能相结合。设备外观设计和GUI设计基于易于使用的FIB设备的概念，因此它是一款开放式设备，即使从未使用过FIB设备的人也可以轻松使用。此外，该设备尺寸是业内最小的之一，为您提供了更广泛的安装位置。
ツインテージ
JIB-4000 标准配备了可处理散装样品的散装样品电机台。此外，还可以添加侧入式测角仪台，其中可以直接插入 TEM 尖头支架。散装样品电机台可以全面观察 20 mm x 20 mm 的散装样品，并且可以通过气闸室在短时间内完成样品交换。侧入测角台与 JEOL 的 TEM 相同，因此尖头支架可与 JEOL 的 TEM 一起使用，从而轻松重复 FIB 处理和 TEM 观察。
左：散装样品电机台右：气闸系统
图 2 散装样品电机台和气闸室
图 3 侧入式测角仪平台和尖头支架
各种附件
JIB-4000 具有多种附件来支持其操作。有些 CAD 导航系统适用于电路修改应用，而矢量扫描系统则适用于加工特殊形状。通过添加适当的附件，JIB-4000 可用于样品制备以外的应用。
图4矢量扫描系统的GUI（左），使用矢量扫描的处理示例（右）
大气非暴露样品交换室
在非大气样品交换室中使用类似手套箱的装置在惰性气体中制备样品后，可以将其移至样品交换室而不暴露在大气中并使用FIB进行观察和处理。
从手套箱中取出专用样品架，并将其移至FIB样品交换室。然后，抽真空，打开嵌入气密盖的真空阀，排出内部截留的惰性气体。
应用示例
高质量 TEM 样品制备
使用 JIB 系列的高性能 FIB 色谱柱可以制备高质量的薄膜样品。图5显示了仅使用30 kV的Ga离子束加速电压制造的Si(110)取向的STEM明场图像（左）和HAADF图像（未使用低加速电压或Ar离子照射进行精加工）。
明亮视野像
HAADF 雕像
图 5 Si(110) 的 STEM 图像 (JEM-ARM200F)
仕様・オプショn
FIB
| 离子源 | Ga液态金属离子源 |
|---|---|
| 加速电压 | 1~30kV（5 kV 步长） |
| 放大倍数 | ×60（用于视野搜索）×200～×300,000 |
| 图像分辨率 | 5 nm（30 kV 时） |
| 最大束流 | 60 nA（30 kv 时） |
| 可移动光圈 | 12级（电机驱动） |
| 最大束电流 | 离子束加工形状 |
样品阶段
| 样品台 | 用于散装样品的 5 轴测角仪平台X：±11毫米Y：±15毫米Z:05 ~ -23 毫米温度：-5 ~ +60°R：360°无尽最大样品尺寸：28 mmφ（高度13 mm）、50 mmφ（高度2 mm） |
|---|
主要附件
注气系统2 (IB-02100GIS2)
碳沉积墨盒(IB-52110CDC2)
钨沉积筒 (IB-52120WDC2)
铂沉积墨盒 (IB-52130WDC2)
侧入式测角仪台 (IB-01040SEG)
探头电流检测系统(IB-04010PCD)
操作面板(IB-05010OP)
舞台导航系统(IB-01200SNS)
FIB 尖端固定器 (EM-02210)
FIB 散装样品架 (EM-02220)
FIB 散装样品架 1 (EM-02560FBSH1)
FIB 散装样品支架 2 (EM-02570FBSH2)
FE-SEM 样品架适配器 (EM-02580FSHA)
梭固定器EM-02280 (EM-02280)
大气拾音系统 (EM-02230)
图库
视频
三维观察（CCD图像传感器）
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