高性能离子束截面制备装置，专为易用性和效率而设计
我们已经可以使用流行的截面抛光机 (CP) 来观察加工过程中的截面。我们支持半导体材料和环境相关领域等所有领域的研究、开发和质量控制的样品制备。
功能
通过使用 CCD 变焦相机监控垂直于表面的横截面，可以减少处理时间。
通过监控做工，可以实时检查内部结构。
使用压电阀轻松控制最佳氩气流量。
使用高倍率 CCD 相机（可选）可实现 2 μm 精度的对准。
也可以使用旋转样品架（可选）进行表面抛光。
通过将安装在载物台上的屏蔽板和样品一起倾斜（摆动），并用离子束处理样品，可以获得光滑的表面。 （日本电子专利）
规格/选项
| 离子加速电压 | 2～6kV |
|---|---|
| 离子束直径 | 500μm(半宽) |
| 铣削速度 | 200μm/2H（加速电压：6kV，硅当量，边距100μm） |
| 最大可加载样本大小 | 宽11毫米x长10毫米x厚2毫米 |
| 移动范围示例 | X轴：±3mm，Y轴：±3mm |
| 采样角度调整范围 | ±5° |
| 使用的气体 | 氩气 |
| 压力测量 | 潘宁真空计 |
| 主排气系统 | 涡轮分子泵 |
尺寸/质量
| 正文 | 380mm(宽)×570mm(深)×520mm(高), 41kg |
|---|---|
| 旋转泵 | 150mm(宽)×427mm(深)×2305mm(高), 16kg |
| 液晶显示器 | 323mm(宽)×181mm(深)×344mm(高), 39kg |
| 选项 | 样品旋转支架(SM-09011)高精度位置CCD相机(IB-83910CCD) |
安装条件
| 电源 | 单相AC100~120V±10%, 50/60Hz, 05~06kVA |
|---|---|
| 接地端子 | D类接地（100Ω以下） |
| 氩气 | 工作压力：015±005MPa（10-20kg/cm²）纯度999999%或更高（氩气、气瓶和调节器由客户提供）金属配管连接口：JISB0203 RC 1/8 |
| 室温 | 20～25℃(变化1℃/h以内) |
| 湿度 | 60% 或更少 |
| 安装面积 | 800mm（宽）x 700mm（深）或更多 |
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