除了IB-09010CP的功能外，还配备了用于横截面加工监控的CCD摄像头，让您可以实时检查加工状态。
功能
配备监控摄像头，可让您实时检查处理状态（×20至×100）。
配备自动启动功能，无需等待即可开始加工。加工从最佳真空水平开始。
8kV电源选项，快速处理速度为300 µm/h（硅基板当量，突出量：100 µm，2小时平均值）
触摸屏操作方便
IB-09020CP 功能
处理监控功能
可通过CCD变焦摄像头实时监控断面加工状态。
您可以使用触摸面板上的缩放按钮将其从 ×20 更改为 ×100。
标准配备用于检查加工位置的 CCD 相机 (x70)
您可以在易于阅读的屏幕上轻松调整加工位置。
触摸屏操作
加工条件通过易于读取的彩色液晶触摸屏进行设置。
提高处理速度（可选）：8kV电源
通过将离子加速电压设置为8kV，可以提高加工速度。
样品：硅晶片（厚度约700μm）
突出屏蔽板100μm，加工2小时（加工速度为参考值）
样品旋转支架
用于在旋转样品的同时进行离子束处理的支架。
可以进行截面抛光/表面抛光。
横截面抛光：用于加工具有明显加工线的样品，例如多孔材料、粉末和纤维。
表面抛光：用于刮除镜面抛光变形层等精加工工序。
SEM 应用示例
通过在处理样品的同时旋转样品，在制备具有明显离子处理条纹的样品（例如多孔材料和粉末）的横截面时，样品旋转支架可以获得更好的结果。
规格/选项
| 离子加速电压 | 2 至 6kV（8kV：选项） |
|---|---|
| 离子束直径 | 500μm(半宽) |
| 铣削速度 | 100μm/h以上(6kV)、300μm/h以上(8kV) |
| 最大可加载样本大小 | 20mm(宽)×10mm(长)×5mm(厚):选项 |
| 移动范围示例 | X轴±10mm，Y轴±3mm |
| 样本角度调整范围 | ±5° |
| 样品加工摆角 | ±30°(专利号4557130) |
| 如何操作 | 触摸屏 |
| 使用的气体 | 氩气（通过质量流量控制器控制流量） |
| 压力测量 | 潘宁真空计 |
| 主排气系统 | 涡轮分子泵 |
| 尺寸/质量 | 机身：545毫米（宽）x 550毫米（深）x 420毫米（高），66公斤旋转泵：150毫米（宽）x 427毫米（深）x 230毫米（高），16公斤 |
| 选项 | 8kV电源样品旋转支架高精度位置CCD相机大样品架 |
安装条件
| 电源 | 单相100至120V±10%，50/60Hz，05至06kVA |
|---|---|
| 接地端子 | D类接地（100Ω以下） |
| 氩气 | 工作压力：015±005MPa(10至20kg/cm²)纯度999999%或更高（氩气、气瓶和调节器由客户提供）金属管道连接口：JISB0203 RC1/8 |
| 室温 | 15 ～ 25℃ |
| 湿度 | 60% 或更少 |
外观和规格如有更改，恕不另行通知。
申请
与 IB-09020CP 相关的申请
用于扫描电镜的高质量骨组织横截面的制备：横截面抛光机在生物标本中的应用
横截面样品制备装置应用：高分辨率扫描电子显微镜在多孔材料结构研究中的作用
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