6点/12点晶体传感器，连接到晶体膜厚控制器/监视器，实时测量/控制真空沉积过程中的膜厚和沉积速率。您可以选择并组合真空室内的传感器主体长度和传感器头类型。
功能
摘要
可配备6或12个6MHz/5MHz晶体单元的多传感器。
当晶体达到其使用寿命（晶体失效）时，可以切换到下一个晶体并按原样使用，使其适合形成厚膜或多层膜。
由于检测孔位于固定位置，因此无需在每次切换晶体时更改 Tooling Factor。
传感器头有两种类型：平面型和45°型，可根据安装位置使用。
在高温环境下使用时，可以在头上安装可选的铜帽（铜盖）。
安装示例
请安排布局，使蒸汽尽可能垂直地进入传感器头的晶体开口。如果以一定角度入射，薄膜可能会不均匀地沉积在晶体表面，不稳定的振动会使速率监测器不稳定并缩短其寿命。
功能
晶体振荡器背面的电触点是接近表面接触的多点电极，通过稳定的晶体振动可以实现高精度的膜厚测量。
易损件更换组装方便，且结构不易出现电极间接触不良的情况，保证切换晶体时稳定工作。
晶体切换采用气动+限位机构，定位精度高。
由于可以选择室内传感器的长度，并且有两种头部角度，因此可以安装在从小型设备到大型设备的任何位置。
易于安装，因为只需通过法兰连接到腔室孔即可。您可以根据图纸对齐检测位置。传感器头通过管子从引入法兰固定，因此与仅具有头部的传感器不同，它固定牢固。由于在晶体更换或清洁过程中传感器头位置（检测位置）不会移动，因此可以在批次之间和长期使用过程中实现再现性（数据可靠性）。
规格/选项
6 点旋转传感器 (BS-04xxxSSR)
配置
12 点旋转传感器 (BS-04xxxTRS)
配置
规格
安装室孔径：2英寸（508毫米）
驱动方式：气动（04-07MPa）
冷却水：流量2-3L/min，压差02-035MPa（最大压力05MPa），水温10-25℃
不包括振荡器和电缆。
有关连接的晶体膜厚计的操作，请另行联系我们。（Inficon型号、ULVAC型号等）
