6点/12点晶体ty8天游线路检测中心，连接到晶体膜厚控制器/监视器，实时测量/控制真空沉积过程中的膜厚和沉积速率。您可以选择并组合真空室内的ty8天游线路检测中心主体长度和ty8天游线路检测中心头类型。
功能
摘要
可配备6或12个6MHz/5MHz晶体单元的多ty8天游线路检测中心。
当晶体达到其使用寿命（晶体失效）时，可以切换到下一个晶体并按原样使用，使其适合形成厚膜和多层膜。
由于检测孔位于固定位置，因此无需在每次切换晶体时更改 Tooling Factor。
ty8天游线路检测中心头有两种类型：平面型和45°型，可根据安装位置使用。
在高温环境下使用时，可以在头上安装可选的铜帽（铜盖）。
安装示例
确保布局允许蒸汽尽可能垂直地进入ty8天游线路检测中心头的晶体开口。如果以一定角度入射，晶体表面可能沉积不均匀的薄膜，不稳定的振动会使速率监测器不稳定并缩短其寿命。
功能
晶体谐振器背面的电触点是接近面接触的多点电极，可以通过稳定的晶体振动高精度测量膜厚。
易损件更换组装方便，且结构抗电极间接触不良，保证切换晶体时稳定工作。
晶体切换采用气动+限位机构，定位精度高。
由于可以选择室内ty8天游线路检测中心的长度，并且有两种头部角度，因此可以安装在从小到大设备的任何位置。
安装方便，只需通过法兰连接到腔室孔即可。您可以根据图纸对齐检测位置。ty8天游线路检测中心头通过管子从引入法兰固定，因此与仅具有头部的ty8天游线路检测中心不同，它固定牢固。由于在晶体更换或清洁过程中ty8天游线路检测中心头位置（检测位置）不会移动，因此可以在批次之间和长期使用过程中实现再现性（数据可靠性）。
规格/选项
6 点旋转传感器 (ty8天游线路检测中心4xxxSSR)
配置
12 点旋转传感器 (ty8天游线路检测中心4xxxTRS)
配置
规格
安装室孔径：2英寸（508毫米）
驱动方式：气动（04-07MPa）
冷却水：流量2-3L/min，压差02-035MPa（最高压力05MPa），水温10-25℃
不包括振荡器和电缆。
有关连接的晶体膜厚计的操作，请另行联系我们。(Inficon型号、ULVAC型号等)
