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天游线路检测中心 推出新型肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-IT800 - 使用下一代平台的 FE-SEM -

发布时间:2020/05/25

天游线路检测中心(总裁兼首席运营官 Izumi Oi)开发了一款新型肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-IT800,并于 2020 年 5 月开始销售。

开发背景

扫描电子显微镜 (SEM) 应用于多个领域,包括纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学,其应用范围日益扩大。
此外,它还具有广泛的用途,从基础研究到生产现场和质量控制。因此,对更快地获取高质量数据以及更轻松地检查成分信息而不必担心分析的需求日益增长。

JSM-IT800 拥有我们迄今为止开发的通用平台:能够实现从高分辨率观察到高速元素映射的“透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪”、下一代光电控制系统“Neo Engine”以及与 EDS 完全集成且易于使用的 GUI“SEM Center”。此外,通过用模块替换SEM物镜,我们可以提供满足客户各种需求的设备。

JSM-IT800 有混合镜头版本(HL 版本)(通用 FE-SEM)和超级混合镜头版本(SHL 版本),用于更高分辨率的观察和分析,具体取决于物镜。 SHL版本标配了新型探测器UHD(上部混合探测器),能够获取比以往更高S/N的图像,使观察变得更加容易。

还配备了新型背散射电子探测器,闪烁体背散射电子探测器(SBED)和多用途背散射电子探测器(VBED)。使用SBED,可以在低加速电压下获取响应良好的材料对比度图像,而使用VBED,可以获取3D、不均匀和材料对比度图像。

主要特点

  • 镜内肖特基 Plus 场发射电子枪
    通过结合电子枪和低像差聚光透镜实现了高亮度。即使在低加速电压(100nA@5kV)下也能获得足够的照射电流,使您无需更换物镜即可执行从高分辨率观察到高速元素映射、EBSD 分析和软 X 射线分析的所有操作。
  • Neo 引擎(新型电子光学引擎)
    配备了下一代电光控制系统,汇集了我们最好的电光技术。
    即使条件发生变化也可以进行稳定观察。此外,自动功能等的可用性也得到了极大的提高。
  • SEM 中心/EDS 集成
    我们已将操作 GUI“SEM Center”与我们自己的 EDS 完全集成,以实现下一代可操作性。此外,它还配备了 Smile Navi(可选)来帮助初学者如何操作 SEM,以及 LIVE-AI(实时图像视觉增强器-AI)滤镜(可选),使实时图像更容易查看。
  • 混合镜头版本(HL版本)(HL:混合镜头)/超级混合镜头版本(SHL版本)(SHL:超级混合镜头)
    我们在电磁场叠加型物镜的基础上设置了两种类型的物镜,并提供两种类型的设备来满足客户的各种需求。这使得以高空间分辨率观察和分析从磁性材料到绝缘体的各种样品成为可能。
  • 上部混合探测器 (UHD)
    SHL版本物镜中安装的新型UHD探测器大大提高了样品产生的电子的检测效率,从而实现高信噪比图像采集。
  • 新型背散射电子探测器
    闪烁体背散射电子探测器(SBED,可选)具有出色的响应能力,有利于在低加速电压下获取材料对比度图像。多用途背散射电子检测器(VBED,选件)由于检测元​​件形状被分割,可以获得 3D 和凹凸图像等独特图像。

主要规格

JSM-IT800 SHL 版本 JSM-IT800 HL 版本
分辨率 (1 kV) 07纳米 13纳米
分辨率 (15 kV) 05纳米 -
分辨率 (20 kV) - 09纳米
加速电压 001 - 30 kV
标准探测器 二次电子探测器(SED)
上部混合探测器 (UHD) 上电子探测器(UED)
电子枪 镜内肖特基Plus场发射电子枪
辐照电流 数量 pA - 500 nA (30 kV) 数量 pA - 300 nA (30 kV)
数量 pA - 100 nA (5 kV)
物镜 超级混合镜头/SHL 混合镜头/HL
样品台 全中心测角台
机芯示例 X:70 毫米 Y:50 毫米 Z:1 至 41 毫米
倾斜:-5 至 70° 旋转:360°
EDS 探测器 能量分辨率:133 eV 或更低
可检测元素:B ~ U
检测元件面积:60 mm2
JSM-IT800

标准价格

JSM-IT800 SHL版:98,600,000日元~
JSM-IT800 HL版:71,000,000日元~
(EDS内置)

计划销量

JSM-IT800 SHL 版本:90 台/年
JSM-IT800 HL 版本:50 台/年

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