专业采访

08

SE技术总部技术开发部二组二队
副首席工学博士
FT

IMS 的重大项目
在奥地利的唯一角色

JEOL 的第一个成熟组件销售（包括合作伙伴关系）是与位于奥地利的 IMS（英特尔子公司）进行的。利用共同技术开发的多光束光刻系统是世界上最先进的。出生于奥地利的 FT 2018年作为JEOL的代表被派往IMS，负责从产品开发到支持的所有事务。

JEOL 首次销售组件

普通电子束光刻设备使用单束，而多束光刻设备使用260,000个纳米级光束一次写入，使其成为一种革命性的设备，可以显着减少所需的时间。 IMS 总部位于奥地利，在多光束开发方面拥有先进技术。 2016年成为英特尔子公司。
但是，该公司缺乏精确控制放置多光束绘制材料（掩模）的平台（小至数十纳米）的技术。 2012年，该公司要求天游线路检测中心开发包括平台在内的组件，两家公司合作并成功实现了多光束光刻系统的商业化。
过去，JEOL 只会购买组件，但从不出售它们。为迎接开放式创新时代，这是首例通过与其他公司合作、联合开发来销售产品的案例。
``目前，IMS 是唯一一家商业化销售多光束光刻设备的公司。但是，由于它是世界首创的新颖设备，因此仍然存在一些不稳定的方面。因此，我被派往 IMS 作为代表 JEOL 的负责人，我们共同为设备的开发提供支持并提供服务，“FT 说道。 SE技术总部技术开发部的负责人。

奥地利工程师充当联络人

F。 T 出生于奥地利。我在技术学院主修物理，但那段时间我对日本产生了兴趣，并出国留学了一年学习日语。回国毕业后，他回到日本，在熊本大学主修电气工程，并完成了博士课程。
2008 年毕业后，他加入 JEOL Technics，参与扫描电子显微镜 (SEM) 的开发。他主要参与了与电子探测器、真空泵系统和 3D-SEM（将图像转换为三维图像）相关的各种开发。
2018年，也就是加入公司10年后，我接到了一个负责电子束光刻设备的部门的电话，要求我驻扎在奥地利，与IMS一起推进一个项目。
“我认为他们来找我是因为我是奥地利人，但一开始我不想离开，因为我在日本有家人。不过，这将是连接日本和奥地利的好机会，也是我的孩子们在自己的祖国生活并学习德语的机会。我还认为我的父母也想见到他们的孙子，所以我决定了。”
目前，JEOL 只有一名全职员工，FT员工会根据需要出差，但精通日语和德语且精通技术的 FT 在合作伙伴关系中发挥着重要的联络人和关键作用。

与 IMS 一起解决问题

多光束光刻设备主要销往亚洲和美洲的客户，但它是一种最先进且复杂的机器，有时会遇到问题。当出现问题时，我们会与 IMS 工作人员一起查明原因，并确定设备是否安装在 FT 所在的 IMS 总部。负责人，FT可以自己修复，也可以反馈给 JEOL 总部寻求建议。
``我们注重的是快速响应。基本上，我们交付的客户不会等待。我们必须立即调查原因，但由于 IMS 也是 JEOL 的客户，因此我们必须在与他们良好沟通的同时做出响应，这使得它变得困难。
5389_5622
英国《金融时报》笑着这样评价奥地利的民族性格。
“我平时很友善，但有时会不耐烦。在日本开车的时候，从来没有人按喇叭，但在这里他们总是这样（笑）。看来我开得太轻了。”

与其他公司的合作很重要

关于工作满意度，FT说道：“Multi-Beam 确实很特别且具有开创性。我很感激能够参与到这样尖端技术的开发。''
``另一件让我个人满意的事情是在 JEOL 和 IMS 担任员工的经历。正如预期的那样，氛围和工作方法不同，所以我通过这次任务了解了公司的工作方式。''
凭借这种独特的经验和多元化的开发生涯，包括 SEM 和多束光刻设备，FT希望为进一步的新发展做出贡献。
“与IMS的项目是JEOL的一个新的开发尝试。目前，虽然它是设备的一部分，但它也是一个大型组件，我们正在创建一个工具库（阶段），并将其与IMS的组件对接以进行交付。供应组件的新业务已经取得了巨大的成功，但我希望看到它在未来扩展到其他领域。例如，JEOL有很多与SEM相关的软件， 所以我认为他们可以在与其他公司合作的同时销售零部件。”
代表与IMS合作的FT似乎对组件销售的潜力深信不疑。

其他采访