专业采访

05

半导体设备 - 半导体 TEM

EM 业务部
EM应用部
材料组
组长
东北

EM 业务部
EM第二技术开发部
第二组
第二团队经理
SK

半导体检查不可或缺
新的自动化 TEM 发布

随着半导体变得越来越小，传统的SEM（扫描电子显微镜）检查已不能满足需求。这就是 TEM（透射电子显微镜）发挥作用的地方，但使用传统设备，很难快速获取数据，因为它主要是手工工作。 JEOL 在市场上推出了一款可以自动进行样品拍摄并获取数据的新型号。预计它将作为半导体检查和分析的 TEM 变得流行。

汇集 JEOL 最佳技术的产品

随着半导体小型化的突飞猛进，SEM已被用于检查，但其分辨率已无法满足要求。因此，开始使用TEM。然而，掌握TEM需要有丰富的操作和分析经验的技术人员，而且由于是手动完成，因此非常耗时。
针对半导体行业的需求，JEOL开发了用于半导体检查和分析的TEM，并于2018年底推出了JEM-ACE200F（以下简称ACE200F），这是一款自动化高通量分析电子显微镜，可以自动调整样品的视场并连续采集数据。
开发项目的负责人 SK 描述了开发的动力如下。
“随着半导体结构的小型化，工艺开发变得更加复杂，需要在原子水平上分析大量样品并获取数据。我们收到了几家主要半导体制造商的大力支持，并结合这些客户的要求创建了一个系统。”
NE负责新ACE200F的应用支持和销售支持，他说：“可以说，该产品是我们公司多年来培育的最佳技术的集合。该产品融合了最新的系统以及最新的机械和电气技术。”

作为跨内部项目开发

S。 K还说：“我们不只是将TEM开发部门的成果纳入其中。”“我们与生产现场反复讨论，制定了确保稳定生产的计划。这是一个跨公司的项目，涉及技术开发、设计、应用、生产、服务和运输部门，而我是它的领导者。有很多不同的意见，所以很难将它们全部整合在一起。但是，每个人都有自己的愿望，让事情变得更好，减少问题，所以意见就来了 出来，所以如果你正确地结合它们，你可以改进产品。”N E的应用部门具有连接客户和公司的作用。 “我们最了解客户的需求，所以我们从用户的角度进行评估，收集这些意见，并将其传达给产品开发。最后，我们评估产品，向客户演示，并与技术和销售合作赢得订单。因此，我们从开发一开始就参与，我们参与软件实施。完成ACE200F没有目标。随着半导体的发展，客户需求发生变化。我们的工作是鼓励 开发以满足这些需求。这种新型号是我们可以自信地提供给客户的产品。

为降低半导体检查成本做出贡献

迄今为止，半导体制造商已使用 TEM 通过人工策略进行半导体检查。自动化降低成本效果显着。
“很难确定我们能达到客户要求的水平有多接近。毕竟，我们必须自动对焦并获得数十个原子级别视场的高精度数据。为了调整视场，我们经常驱动样品台，但很难获取数据。“如果相机不是静止不动的，我们就无法收集数据。因此，我们采用了多种技术的组合来尽可能地保持相机不移动并进行高速拍摄。为了继续持续稳定地捕捉图像，我们不得不借用各个部门的智慧。”K回忆道。
东北下面讨论自动化的好处。 “这是 JEOL 首次使用基于材料的 TEM 自动拍摄如此大量的样品。TEM 数据的准确性根据操作员的技能水平而变化，因此自动化不仅具有速度优势，而且具有标准化的优势。通过自动化，不再需要的操作员可以专注于数据分析，并且可以缩短从拍摄到分析的整个流程所需的时间。”
谈到完成这项工作的喜悦，SK 说：“最大的喜悦是能够以 20 纳米的视场连续观察原子。”
东北表示，无论ACE200F如何，购买TEM的客户将继续使用它至少10年，因此这段时间的支持很重要。
“到目前为止，我们已经有客户从竞争对手转向我们的TEM。当然，产品的性能是一个因素，但我强调的是我们提供坚实的支持。特别是在私营部门，这往往是选择的决定性因素。有了ACE200F，我们将需要更紧密的信任关系。”

未来将使用AI进行分析

S。 K谈自动化之后的发展方向。 “AI（人工智能）是自动化的延伸。未来我想融入AI并用它来进行分析。AI会决定自动收集的数据是否可以用于分析。”
到目前为止，TEM 主要用于学术研究等学术环境，但随着自动化的发展，预计其在生产现场的使用将会增加。
“TEM 的自动化创造了新的需求。到目前为止，TEM 是用于基础研究的特殊设备，但通过自动化，我们已经能够将其转变为检查设备。未来，TEM 不仅对于私营公司的材料开发，而且对于质量控制都将变得至关重要。未来我们需要进一步提高其可用性，”NE谈到了未来的发展。
SEM 和 TEM 为半导体的发展做出了巨大贡献，JEM-ACE200F 很可能会促进未来的进一步发展。

其他采访